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核心觀點：

6 月設備招標以積塔/燕東為主，行業招標設備主要包括退火、研磨、PVD 和刻蝕設備等品類。2023 年6 月統計樣本中的晶圓產線合計產生19 項招標。以中芯國際、燕東微電子、積塔半導體等產線招標為主。

招標設備主要包括退火、研磨、PVD 和刻蝕設備，主要為積塔半導體、燕東微電子招標。此外，基建項目主要為中芯國際和積塔半導體招標。

2023 年1-6 月，統計樣本中的晶圓產線合計招標298 項，其中，中芯國際、積塔半導體、粵芯半導體的招標量位居前三。整體而言，設備招標以刻蝕、CVD、測試機設備為主。

國產廠商卡位測試機、CVD 等設備領域，6 月中標設備國產比例為41%。中標方面，2023 年6 月，統計樣本中的晶圓產線上合計中標17臺設備，以氣液系統、測試機等設備居多；國產設備整體中標比例約41%，其中，測試機和CVD 設備的國產中標比例顯著。2023 年1-6月，統計樣本中的晶圓產線合計中標220 臺設備，以氣液系統、量測、刻蝕設備居多；國產設備整體中標比例約49%，其中，沉積、PECVD、外延、檢測設備的國產中標比例較高。

1-6 月北方華創和萬業企業中標量領先，國內半導體設備廠商合計中標量在對應工藝環節的中標比例為36%。2023 年6 月，聯動科技中標6臺測試機，在對應工藝環節的中標比例為100%，芯譜半導體中標1 臺CVD 設備，在對應工藝環節的中標比例為100%。2023 年1-6 月，國內半導體設備廠商合計中標68 臺設備，萬業企業、北方華創中標量領先。其中，北方華創中標主要包括刻蝕、爐管、擴散和外延設備，分別為10 臺、1 臺、1 臺和1 臺；萬業企業中標主要包括氣液系統、沉積、PVD 和CVD 設備，分別為23 臺、5 臺、1 臺和2 臺。2023 年1-6 月，國內半導體設備廠商合計中標量在對應工藝環節的中標比例為36%。

其中，北方華創的外延設備、拓荊科技的PECVD 設備和萬業企業的沉積設備在對應工藝環節的中標比例領先，分別為100%、100%、83%。

投資建議：國產半導體設備廠商依托本土晶圓產能的持續擴張，以及公司自身的產品競爭力、廣闊的份額增長空間和品類擴張能力，有望加速提升半導體設備的國產替代份額，成長速度和空間均十分顯著。建議關注在半導體核心工藝環節強勢卡位和今年有新品類拓展的公司：北方華創、中科飛測、拓荊科技、芯源微、中微公司*、華海清科、盛美上海*、華峰測控*、長川科技*、微導納米、至純科技*、萬業企業等標的。

（帶*標的為與廣發機械聯合覆蓋）

風險提示：市場需求不及預期，研發不及預期，市場開拓不及預期。

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