歷時11個月建設(shè)期，最高峰時1500多人同步施工作業(yè)，23日，總建筑面積22.2萬平方米的湖南三安半導體產(chǎn)業(yè)園項目竣工點亮儀式順利舉行，這標志著湖南首個第三代半導體產(chǎn)業(yè)園落成，國內(nèi)首條碳化硅全產(chǎn)業(yè)鏈生產(chǎn)線正式投產(chǎn)。

記者了解到，項目一期主要包含碳化硅長晶、襯底、外延、芯片、器件封裝等廠房及相關(guān)配套設(shè)施建設(shè)，將成為推動湖南新一代半導體及集成電路產(chǎn)業(yè)鏈發(fā)展的強大動力。作為長沙產(chǎn)業(yè)鏈上的一顆“新星”，湖南三安半導體產(chǎn)業(yè)園項目蘊藏著怎樣的奧秘?記者23日走進該項目一探究竟。

潔凈等級標準領(lǐng)先于行業(yè)

“為了滿足半導體制造工藝需求，生產(chǎn)車間必須達到潔凈車間的標準。”項目施工方、中建五局三公司項目執(zhí)行經(jīng)理周祥告訴記者，潔凈車間是指將一定空間范圍之內(nèi)空氣中的有害空氣、微粒子、細菌等污染物排除，并將室內(nèi)壓力、潔凈度、溫度、氣流速度與氣流分布、照明及噪音振動、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特別設(shè)計的空間。

周祥進一步解釋，潔凈標準一般按照一級、十級、百級、千級、萬級、十萬級、三十萬級等劃分，數(shù)值越小，代表凈化級別越高。“普通公共場所殺菌消毒可參照三十萬級標準，醫(yī)院ICU病房殺菌消毒參照十萬級標準，而湖南三安半導體產(chǎn)業(yè)園項目半導體電子生產(chǎn)廠房M2B碳化硅芯片廠房為百級標準，每立方英尺的空氣中大于等于0.5微米粒徑的粒子數(shù)量不超過100個，潔凈等級標準上遠遠領(lǐng)先于行業(yè)。”

為了保證無塵潔凈室大面積生產(chǎn)車間的空氣潔凈度，需要建立潔凈空調(diào)通風系統(tǒng)，車間樓板中需預留大量規(guī)則的圓柱形垂直孔洞，以形成回風通道。這種利用樓板內(nèi)孔洞形成回風通道的樓板結(jié)構(gòu)稱為華夫板，是一種鋼筋混凝土密肋梁鏤空樓板，此類樓板厚度可達700毫米。

將為長沙產(chǎn)業(yè)發(fā)展注入強“芯”劑

第三代半導體材料以其優(yōu)異電性能特性，幫助電源變換系統(tǒng)實現(xiàn)優(yōu)異的功率密度和卓越的系統(tǒng)效率，使其在新能源汽車、光儲充等場景中發(fā)揮關(guān)鍵作用。湖南三安半導體產(chǎn)業(yè)園全面建成投產(chǎn)后，將形成兩條并行的碳化硅研發(fā)、生產(chǎn)全產(chǎn)業(yè)鏈產(chǎn)線，產(chǎn)品為高質(zhì)量、低成本、高穩(wěn)定性碳化硅襯底及各類器件，可廣泛用于新能源汽車、高鐵機車、航空航天和5G通訊等領(lǐng)域。

三安光電股份有限公司副董事長、總經(jīng)理林科闖表示，湖南三安半導體的業(yè)務(wù)涵蓋襯底材料、外延生長、晶圓制造及封裝測試等環(huán)節(jié)，打造了國內(nèi)第一條、全球第三條碳化硅垂直整合產(chǎn)業(yè)鏈，為客戶提供高品質(zhì)準時交付，兼具規(guī)模化生產(chǎn)成本優(yōu)勢。

湖南三安半導體產(chǎn)業(yè)園的投產(chǎn)，將為長沙注入強“芯”劑，憑借完整的碳化硅產(chǎn)業(yè)鏈布局和強大的制造平臺，項目將快速發(fā)展為具有自主知識產(chǎn)權(quán)、掌握核心技術(shù)與行業(yè)話語權(quán)、具有重要國際影響的碳化硅材料與器件產(chǎn)業(yè)生產(chǎn)基地。有利于形成以長沙高新區(qū)為中心的寬禁帶半導體產(chǎn)業(yè)聚落，加速上游IC設(shè)計公司設(shè)計與驗證迭代，縮短下游終端產(chǎn)品上市周期，推動產(chǎn)業(yè)鏈迅速發(fā)展。

據(jù)介紹，湖南三安半導體產(chǎn)業(yè)園項目總投資160億元，總占地面積1000畝，項目建成達產(chǎn)后，預計可實現(xiàn)年產(chǎn)值120億元，可直接提供4500個就業(yè)崗位，并帶動上下游配套產(chǎn)業(yè)產(chǎn)值預計超1000億元，提供近1萬個就業(yè)崗位。

(全媒體記者 陳煥明 通訊員 王麗 楊灝)

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